led模组厂家-杰生半导体有限公司-浙江led模组

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    2023-7-30

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外延片的制造过程

外延片的生长工艺有很多流程,需要很多高菁尖设备,生长出来的外延片直接决定了 led 的波长、亮度、正向电压等主要的光电参数。外延片的生长基本原理是在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有蓝宝石、sic 碳化硅、si 硅)上,气态物质 in ga al p(铟 家 铝 磷) 有控制的输送到衬底表面,led模组价格,生长出特定单晶薄膜。

目前主要的外延片衬底材料有蓝宝石、碳化硅和硅。不同的衬底材料有不同的光电特性,价格差别也很大。外延片制造过程如下:

先把晶棒切片,切片需要注意晶面的结晶方向、晶片的厚度、晶面的斜度和曲度;切片后为了防止晶片边缘碎裂、防止热应力集中以及增加外延层的平坦度 需要把晶边磨圆,然后还需要蚀刻(shí kè),蚀刻的目的在于把前面机械加工所造成的损伤给去掉,蚀刻需要用到晶片研磨机;下一步需要将晶片置于炉管中施以惰性气体加热30分钟至一小时,再在空气中快速冷却,可以将所有氧杂质去除,这样晶片的电性(阻值)仅由载流子杂质来控制,从而稳定电阻,这一步需要使用到高温快速热处理设备;然后使用抛光机再给晶片抛光;再然后就是使用晶片清洗机来清洗晶片,用rca溶液(双i氧水+---或又氧水+---),将前面工序所形成的污染清除,蕞后在无尘环境中严格检查晶片表面的洁净度、平坦度---符合规格要求,蕞后包装到特殊的容器中保存。






在led芯片制作过程中,把一些有缺陷的或者电极有磨损的芯片,分捡出来,这些就是后面的散晶,此时在蓝膜上有一些不符合正常出货要求的晶片,也就自然成了边片。

刚才谈到在晶圆上的不同位置抽取九个点做参数测试,uv led模组批发,对于不符合相关要求的晶圆片作另外处理,这些晶圆片是不能直接用来做led方片,也就不做任何分检了,直接卖给客户了,也就是目前市场上的led大圆片(但是大圆片里也有好东西,如方片)。

led制作流程分为两大部分。

首先在衬低上制作氮化家(gan)基的外延片,led模组厂家,这个过程主要是在金属有机化学气相沉积外延炉中完成的。

准备好制作gan基外延片所需的材料源和各种高纯的气体之后,按照工艺的要求就可以逐步把外延片做好。

常用的衬底主要有蓝宝石、碳化硅和硅衬底,还有gaas、aln、zno等材料。

mocvd是利用气相反应物(前驱物)及ⅲ族的有机金属和ⅴ族的nh3在衬底表面进行反应,将所需的产物沉积在衬底表面。

通过控制温度、压力、反应物浓度和种类比例,从而控制镀膜成分、晶相等品质。

mocvd外延炉是制作led外延片蕞常用的设备。






在现阶段白光led首要经过三种方法完成:

1、选用蓝光led芯片和荧光粉,由蓝光和黄光两色互补得到白光或用蓝光led芯片合作赤色和绿色荧光粉,由芯片---的蓝光、荧光粉---的红光和绿光三色混合取得白光;

2、使用紫外led芯片---的近紫外激起三基色荧光粉得到白光。

3、选用红、绿、蓝三色led组合发光即多芯片白光led;

当前使用广泛的是第二种方法,选用蓝光led芯片和荧光粉,浙江led模组,互补得到白光。因而,此种芯片进步led的流明功率,决议于蓝光芯片的初始光通量及光保持率。





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